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学术期刊
微细加工技术Microfabrication Technology
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
ISSN：1003-8213
CN：43-1140/TN
学科分类：信息科技
专业分类：无线电电子学
发行周期：双月刊
审稿周期：3-6个月
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